金属的光谱分析法是指通过分析样品的光谱特性来定量其中不同元素的含量。以较为先进的直读光谱仪为例，具体分析过程包括：

1.通过电容火花放电的方式使被测金属表面蒸发形成原子蒸汽，由于受到高能激发，这些原子的核外电子会从基态跃迁到激发态，由于激发态的电子处于不稳态，会跃迁回基态，并放出光子，形成光源。
2.不同的元素其发出的光子特征波长不一样。将光源的光通过分光系统分光后，由光电检测器检测各个元素特征波长上的光强，光强的大小就表示该元素含量的高低。
与化学分析法相比，光谱分析的**优点在于全元素同时分析，分析速度快，通常在30秒内可以报出所有元素的含量，并且由于全自动分析，分析准确度高。而化学分析则不同的元素需要采取不同的分析方法，速度较其慢，而且测定结果受外围环境以及操作员操作水平限制，重复性和准确度较差。
国内目前能制备大型的直读光谱分析仪，ROHS光谱仪仪器一般20w左右，江苏没有生产商。大型仪器的缺点在于运行维护成本高，占地面积大，对外界环境的要求高，不适用于中小企业的使用。小型光谱仪目前国内正处于研制阶段，尚未有商业成型的仪器。国外的小型光谱仪售价一般在40w左右。
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